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改革开放40年·电子信息产业丨电子专用设备:聚力同心打造产业“生态圈”
发布时间:2018-12-26

  编者的话:改革开放以来,我国电子信息产业实现了从无到有、从小到大的重大转变,在国民经济和社会发展中的地位和作用显著提升。特别是党的十八大以来,我国电子信息产业不断取得新进展,核心技术逐步突破,市场规模不断扩大,专利和标准化成果丰硕。为集中反映我国电子信息产业发展的方方面面,中国电子报特别策划推出“改革开放40年·电子信息产业”特刊,邀请主管部门、专家学者撰写文章,从集成电路、电子应用、电子专用设备、电子材料、超高清视频产业、彩电、电子元件、传感器等方面,讲述改革开放以来电子信息产业各领域的主要成就,提出新时代我国电子信息产业高质量发展的思路建议。


中国电子专用设备工业协会理事长

北方华创科技集团总裁

赵晋荣

  作为电子信息制造业的重要一环,电子专用设备在产业发展中发挥着重要的基础性支撑作用,是推动电子信息产业快速发展的根基,也是推动电子信息产业技术进步的引擎。装备强则国强,我国改革开放以来,中国电子专用设备产业经历了从“0”到“1”的跨越,从无到有,聚沙成塔。如今,随着中国成为全球半导体版图中最具活力的土地,中国电子专用设备产业也迎来了发展的黄金时期。


  千锤百炼见证产业成长与突破


  我国电子专用设备行业在改革开放前非常弱小,尚未形成完整的产业链。国营第七○○厂(北方华创前身)、国营第七○八厂、国营第七○九厂、电子45所、电子48所等电子专用设备企业及研究所仅能研发和制造一些粗放型的基础设备,在计划经济模式下自给自足。


  改革开放初期,随着国际市场的逐步开放,以及国外先进技术的引进,我国电子专用设备业逐渐开启了“以市场换技术”的拓展模式,全国范围内采购了不少生产线,基本都是整线采购国外成线或二手线。而此时刚刚从计划经济体制中“断奶”的国营设备企业和研究所,没订单、经验浅,非常不受市场青睐。一时间,国内专用设备企业备受冲击。


  20世纪八九十年代,中国电子专用设备行业遭遇冷板凳后,各设备厂商都在艰难爬坡,努力改变局面。


  以国营第七○○厂为例,企业甚至先后尝试了洗衣机、过载保护器、负离子发生器、医疗肾石机等各类设备的生产。之所以这样做,一方面,在不断寻找市场,寻找赖以生存的产品;另一方面,看好中国半导体产业发展的未来,因此一直坚守设备阵地。当时,国营第七○○厂与美国某半导体设备公司进行合作,在北京设立了该公司在中国的第一家客户服务支持中心。之后,双方又开展合作,成立了研发先进刻蚀机技术的合资公司。尽管后来项目被取消,但这些合作项目都为我国培养了一批掌握当时先进研发技术和服务能力的专业人才,这些人才中很多直到现在还一直奉献和服务于国内半导体设备行业,而且在企业中发挥着不可替代的骨干作用。


  而随着真空开关管、彩色显像管等设备的技术难关不断被攻克,国产设备业重见曙光,并迅速实现了这些设备的全面国产化。


  厚积薄发踏上高速发展快车道


  进入新世纪,伴随着新能源光伏、LED行业的兴起,中国电子专用设备行业踏上高速发展的快车道。在光伏领域,晶硅太阳能电池片整线生产设备逐步实现产业化,国内市场占有率超过90%,并实现整线出口,2018年销售收入预计达到50亿元;LED领域,国产装备在最关键的MOCVD设备上取得重要进展,刻蚀机、PVD和PECVD等产品不断推陈出新,国产化率也达到了90%,部分产品凭借优越的产品性能和性价比,远销海外。


  同时,中国集成电路产业及配套装备产业在政府的日趋重视下,也进入了快速追赶阶段。一批12英寸高端集成电路制造装备实现了从无到有的突破,国产12英寸28nm集成电路芯片关键设备进入主流生产线实现量产,14nm刻蚀机、PVD、LPCVD、单片退火、光学检测、ALD、PECVD等设备进入大生产线验证并实现销售。可以说,经过40年的奋斗,国内电子专用设备产业的竞争格局发生了根本改变,国产设备能够满足很多制造领域的需求,并在一定程度上推动了我国光伏、LED、平板显示、MEMS、封装等产业的快速发展。


  机遇难逢共建自主开放产业生态圈


  改革开放40年来,中国电子专用设备整体技术水平已经取得长足进步,逐步实现从“替代者”到“创新者”的角色转变,在全球产业创新链中不断寻找自己的特色发展之路,但想要在国际竞争中占有一席之位,目前还面临着诸多难题和考验,需要业内人士共同努力。


  首先,提高先进技术开发能力,缩短新设备验证周期。目前国产设备技术水平还处于弱势地位,需加强与龙头用户或国际研究机构的战略合作,以加强下一代新技术的研发,在客户初始研发阶段参与其中,才能取得市场先机。国产装备从研发到定型,再到生产线DEMO验证,需要经过大量的工艺实验,并不断改型优化,最后在客户生产线上需要经过近一年的DEMO验证,设备生产性能全面达标后方能形成采购意向,实现销售。如此高昂的工艺试验费用,需要很强的融资能力和经济实力,也需要来自产业各界的持续支持,让国产设备企业能够真正参与到最先进生产线制程的工艺研发中,与国内IDM企业开展深度合作,促进核心工艺设备的研发和评估。与此同时,加快企业研发成果的市场化进程,也亟须多渠道、集中资金和政策支持发展龙头装备商,打造综合竞争力,重拳出击,突破核心工艺设备瓶颈。


  其次,亟须打造更健康自主的产业环境,营造本土产业“生态圈”。知名半导体行业专家莫大康说过:“‘引进’犹如踩在别人肩膀上走路,容易受制于人。改革开放40年的教训告诉我们,先进的技术是买不来的,先进的设备也是买不来的,我们必须两条腿走路,自力更生更重要。”目前,我国高端集成电路装备整机约70%的零部件长期依赖进口且价格居高不下,在一定程度上削弱了我国高端装备的整体竞争力,自力更生对半导体设备关键零部件的供应问题来说,尤为重要。为此,建议从国家层面加大对核心零部件、关键原材料的布局,提升芯片制造企业对国产装备、零部件的支持力度,不断提高核心零部件的本地配套能力。


  再次,加快国内外的整合兼并。纵观国际半导体设备的发展历程,国际龙头企业基本都经历了自身发展与国际并购相结合的模式,形成大者恒大的局面,垄断趋势越来越明显。中国半导体设备企业要与国际巨头竞争,必须提高自身的竞争实力,这需要加强各设备企业的互相协同,推动企业间的兼并整合,提升企业在对外并购中的竞争实力。


  最后,加快人才培养速度,改善人才机制。集成电路装备是人才密集的产业,需要大量的高素质研发人才,人才是产业发展的关键因素之一。经过近十年的发展,我国集成电路装备人才队伍迅速壮大,一批高端人才加盟到国内的研发队伍中,形成了一支极具创新力的人才队伍,拥有数千项专利,初步形成了较为完善的知识产权保护体系。但相比快速发展的产业,人才的缺口依然很大,需求依然很急迫。政府要联合高校、科研机构加大人才培养规模,加快人才培养速度。同时企业也要改善激励机制,以吸引更多高端人才加盟。


  2018年,全球半导体制造设备的销售额预计将达到621亿美元,将创历史新高,中国大陆排名将首次上升至第二名。全球集成电路制造业向中国大陆转移大趋势不可逆转,机遇千载难逢,亟须业界同仁,聚力同心,开放创新,产学研结合发展,吸引更多力量参与到电子专用设备行业中来,共建自主、开放的产业生态圈。

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